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矽元件與積體電路製程(修訂版)
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作者：李明逵/著
出版社：全華圖書
出版日期：2004年02月29日
語言：繁體中文
ISBN：9572143557
裝訂：平裝
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內容簡介
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此書為探討「矽元件與積體電路製程」之教科書。 本書第1.2章探討矽半導體材料之特性。從矽導體之物理概念開始，一直到半導體結構、能帶做完整的解說。 第3.4章則說明積體電路的原理、結構及製程。 第5.6章則著重於矽晶圓的配製。 全書通用於大專院校電子、電機科系「積體電路製程」或「半導體物理與元件」課程做為教材。 |
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